400-004-3668
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直线电机平台 LMA38 微型平台
平台采用敞开式结构,方便拆装维护
内置光栅或磁栅反馈系统,分辨率可选O.lµm, 0.5µm, lµm, 5µm 采用动磁式平板直线电机
重复精度达到土l µm
体积小,结构简单,适应于轻负载高精度的场合
可任意架构成XY十字平台
产品介绍
产品参数
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