400-004-3668
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LMSF 5 系列三维直线电机平台
1、底座基材为大理石,模块化设计;
2、采用U型电机;
3、刚性好,精度高;
4、可用于晶圆切割等激光精加工领域。
产品介绍
产品参数
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1、底座基材为大理石,模块化设计;
2、采用U型电机;
3、刚性好,精度高;
4、可用于晶圆切割等激光精加工领域。









 
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