400-004-3668
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LMSF 6103 纳米单轴平台
1、采用动磁式平板直线电机;
2、重复精度达到±0.5 um;
3、体积小,结构简单,适应于轻负载,高精度的场合。
产品介绍
产品参数
其他产品
1、底座基材为大理石,模块化设计;
2、采用U型电机,下轴采用平板电机;
3、刚性好,精度高;
4、可用于玻璃划片等激光精加工领域。












 
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